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描述：玉崎TEM-TECH壓力傳感器半導(dǎo)體制造設(shè)備用HYPFZW-005TS3用于集成燃氣面板的壓力傳感器針對環(huán)境變化實現(xiàn)高精度和高穩(wěn)定性
產(chǎn)品型號：HYPFZW-005TS3廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2025-01-17訪問量：190
產(chǎn)品介紹/ PRODUCT PRESENTATION| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,電氣,綜合 |
|---|
玉崎TEM-TECH壓力傳感器半導(dǎo)體制造設(shè)備用HYPFZW-005TS3
玉崎TEM-TECH壓力傳感器半導(dǎo)體制造設(shè)備用HYPFZW-005TS3
HYPFZW
集成型氣體面板用壓力傳感器
高精度·對環(huán)境變化具有高度穩(wěn)定性
接觸氣體部為面向全SUS316L氣體面板壓力傳感器1g壓力:-0.1或
0~0.3.0.5.1MPa電流/電壓輸出，各種集成尺寸的C硅、W硅接觸
部:SUS316L
用于半導(dǎo)體制造裝置氣體面板
產(chǎn)品介紹：
測定流體
半導(dǎo)體工藝氣體
接氣部材質(zhì)
光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感器單元:SUS316L
測定範(fàn)囲
0 (-0.1)-0.3、0.5、1MPa
許容限度壓力
定格壓力x2倍
電源電壓
DC24V±10%
直流15~24V
出力信號
4~20mADC(2裸式)
0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC(3線式)
輪合精度
~0.5%FS(直線性、歇斯底里包括可再現(xiàn)性)
溫度補償範(fàn)囲
0~溫度:不結(jié)冰、不結(jié)露
動作溫度範(fàn)囲
0~80度(無結(jié)冰、無結(jié)露)
溫度特性
+/-0.05%FS/度C(溫度補償范圍內(nèi))
保護等級
IP55相當(dāng)*室內(nèi)規(guī)格
安裝螺釘
C硅、W硅
螺釘尺寸
1.125"1.5(請咨詢其他)
電纜取出
可裝卸式多治見連接器
附帶電纜
3m標(biāo)準(2芯+屏蔽線)
3m標(biāo)準(3芯+屏蔽線)
密封方法
特殊電子束焊接
泄漏量
<5x10 12P/秒
內(nèi)面精細度
Ra:<0.25μm以下
Model: HYPFZW
HYPFZW-420TS2
HYPFZW-420TS1
HYPFZW-420TS3
HYPFZW-420PS1
HYPFZW-420PS2
HYPFZW-420PS3
HYPFZW-420MS1
HYPFZW-420MS2
HYPFZW-420MS3
HYPFZW-105TS2
HYPFZW-105TS1
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