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更新時間：2024-01-26 
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真空計是測量一定空間內(nèi)真空度的傳感器。
根據(jù)用途，選擇分壓真空計或全壓真空計。此外，測量方法有多種，可測量的真空范圍根據(jù)這些差異而變化。
真空空間通常用于需要高清潔度的制造場所，因為可以zui大程度地減少包括水分在內(nèi)的雜質(zhì)。其中，真空計安裝在與需要真空達到控制的室和石英管連接的流體回路中。
真空計通常安裝在半導體制造設(shè)備的等離子蝕刻空間以及冶金、有機合成等實驗設(shè)備中。它還用于需要表面清潔度的場合，例如離子束設(shè)備、氣相沉積設(shè)備以及其他需要表面清潔度的應(yīng)用。
真空計的類型和測量原理有很多種。真空計成功測量少量氣體分子的動量，并將其轉(zhuǎn)換為氣體密度和空間真空度。zui流行的真空計類型是皮拉尼真空計。
皮拉尼真空計是一種電阻式真空計，可根據(jù)氣體與攜帶電流的鉑絲碰撞時損失的熱能計算出電流，然后根據(jù)該值計算出壓力。其機制是，這一微小壓力直接對應(yīng)于真空度。
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